氢氧混合的火焰加热在半导体行业的应用

氢氧混合的火焰加热在半导体行业的应用

 

火焰加热作为传统的热处理方式,多数人会联想到在金属加工领域的应用,其实在新材料的加工领域也有广泛且有效的应用,比如半导体。

 

半导体的加工生产过程中,很重要的一个因素是保持合理的洁净度。在晶体成型的过程中,如果有其他元素加入,就会出现变色或模糊的现象。那么热处理工艺采用氢氧混合燃烧的火焰加热方式就是性价比和效率极高的选择。氢氧燃烧火焰加热只产生热能和水,即环保又高效。下图就是我们为一家日本公司设计制造的一款氢氧火焰加热系统,改善了半导体部件生产中成型率,剔除了氢气火焰加热中的一些安全隐患。

 

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